大腔体双靶磁控溅射仪 SSG-200A

大腔体双靶磁控溅射仪 SSG-200A

镀膜仪器
提高观察效果
可大批量样品同时使用
在封闭腔室中,放置阳极靶材,充入气体,保持一定的真空度,在阳极和阴极之间加载高压,会发生辉光放电现象。电离的气体离子会轰击、侵蚀阳极靶材。靶材原子会因此向四周扩散,在磁力的束缚下在一定范围内沉积,最终在样品表面形成一个均匀的镀层。这个镀层可以抑制荷电,减小热损伤,提高二次电子产率,从而改善扫描电镜观察效果。平时使用时,最常见靶材的是金靶。正是这个原因,离子溅射仪也俗称“喷金仪”。然而,为了获得更细小的晶粒尺寸、更薄的连续镀层,有时候也会使用其他靶材(比如铬、铂金、铜)。
全国服务热线
400-8866-090
留言资讯
  • 产品概述
  • 技术参数
  • 选型指南
  • 视频介绍

大腔体双靶磁控溅射仪 SSG-200A

镀膜仪器
提高观察效果
可大批量样品同时使用
在封闭腔室中,放置阳极靶材,充入气体,保持一定的真空度,在阳极和阴极之间加载高压,会发生辉光放电现象。电离的气体离子会轰击、侵蚀阳极靶材。靶材原子会因此向四周扩散,在磁力的束缚下在一定范围内沉积,最终在样品表面形成一个均匀的镀层。这个镀层可以抑制荷电,减小热损伤,提高二次电子产率,从而改善扫描电镜观察效果。平时使用时,最常见靶材的是金靶。正是这个原因,离子溅射仪也俗称“喷金仪”。然而,为了获得更细小的晶粒尺寸、更薄的连续镀层,有时候也会使用其他靶材(比如铬、铂金、铜)。
全国服务热线
400-8866-090
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大腔体双靶磁控溅射仪 SSG-200A
产品概述

技术参数
配置
详细参数说明
样品腔尺寸
直径300mm*高度130mm
低真空度
极限真空度:<0.1Pa,工作真空度:0-10Pa
高真空度
极限真空度:<10-3Pa,工作真空度:0.1-2Pa
靶材尺寸
规格:直径57mmx0.1mm厚,数量:2个
样品台转速
4-20rmp
抽速
66L/min
溅射电流
1-500mA,连续可调
溅射时间
1-999s,连续可调
保护气
氩气
选型指南

选型指南

视频介绍

视频正在制作中...

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